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FFU「クリーンキューブ」

ファンフィルタユニット「クリーンキューブ」

省エネ、低騒音、薄型軽量設計!クリーンブース内からメンテナンス可能な先進のファンフィルタユニット

機種選定方法

クリーン度について

現在、慣用的に広く使用されている規格のFED 規格及びクリーン度の世界初の統一規格であるISO14644-1 は下記の通りです。

FED-STD-209D

クラス
1
10
100
1,000
10,000
100,000
換気回数
-
-
250~400
150
75
20
粒子数(個/ cf)
1
10
100
1,000
10,000
100,000
個/ m3(換算)
35
353
3,530
35,300
353,000
3530,000
ISO クラス 相当
3
4
5
6
7
8
参考 - - 液晶・IC
精密工場
病院の手術室 医薬品工場 パソコンの
組立工場
  • 換気回数: ブース内の空気を1 時間当たり何回換気しなければならないかという規定です。
  • 粒子数 : 1立方フィートの空間内に直径0.5 μm 以上の粒子が何個まで存在してもよいかという規定です。

ISO-14644-1

クラス
0.1µm
0.2µm
0.3µm
0.5µm
1µm
5µm
ISO1
10
2
ISO2
100
24
10
4
ISO3
1,000
237
102
35
8
ISO4
10,000
2,370
1,020
352
83
ISO5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISO6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISO7
3,520,000
83,200
2,930
ISO8
35,200,000
832,000
29,300
ISO9
8,320,000
293,000

機種選定方法

ファンフィルタユニットの風量=1時間当たりの換気回数(回/h)×空間の容積(m3)/60

機種選定例

ファンフィルタユニット「クリーンキューブ」機種選定例 クリーンブースサイズ

幅2m × 奥行き2m × 高さ2m の空間で、クリーン度10,000 を維持したい場合

  1. 空間の容積を計算します。
    • 2m×2m×2m = 8m3
  2. 1 時間当たりの換気回数から必要な空気の量を計算します。
    • 75 回/h×8m3 = 600m3/h
  3. 1 分間当たりの空気の量を計算します。
    • 600m3/60min = 10m3/min →必要風量 10m3/min
型式 OFU-102H-AW OFU-105H-AW OFU-110H-AW OFU-117H-AW
最大風量 2m3 /min 5m3 /min 10m3 /min 17m3/min

→ 適応機種:OFU-110H-AW

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