クリーン度について
クリーン度について
現在、慣用的に広く使用されている規格のFED 規格及びクリーン度の世界初の統一規格であるISO14644-1は下記の通りです。
FED-STD-209D
| クラス | 1 | 10 | 100 | 1,000 | 10,000 | 100,000 |
| 換気回数 | - | - | 250～400 | 150 | 75 | 20 |
| 粒子数（個／cf） | 1 | 10 | 100 | 1,000 | 10,000 | 100,000 |
| 個／m3（換算） | 35 | 353 | 3,530 | 35,300 | 353,000 | 3,530,000 |
| ISO クラス 相当 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 |
| 参考 | - | - | 液晶・IC 精密工場 |
病院の手術室 | 医薬品工場 | パソコンの 組立工場 |
- 換気回数：ブース内の空気を1時間当たり何回換気しなければならないかという規定です。
- 粒子数：1立方フィートの空間内に直径0.5 μm以上の粒子が何個まで存在してもよいかという規定です。
ISO-14644-1
| クラス | 0.1µｍ | 0.2µｍ | 0.3µｍ | 0.5µｍ | 1µｍ | 5µｍ |
| ISO 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
機種選定例
幅2m × 奥行き2m × 高さ2m の空間で、クリーン度10,000 を維持したい場合
- 空間の容積を計算します。
2m×2m×2m ＝ 8m3 - 1時間当たりの換気回数から必要な空気の量を計算します。
75 回／h×8m3 ＝ 600m3／h - 1分間当たりの空気の量を計算します。
600m3／60min ＝ 10m3／min → 必要風量 10m3／min
| 型式 | OFU-102H-AW | OFU-105H-AW | OFU-110H-AW | OFU-117H-AW |
| 最大風量 | 2m3 ／min | 5m3 ／min | 10m3 ／min | 17m3／min |
→ 適応機種：OFU-110H-AW
